| 发明名称 | 纳米级结晶硅粉末 | ||
| 摘要 | 具有超过50m<SUP>2</SUP>/gBET表面积的聚集的结晶硅粉末。粉末通过连续将至少一种汽化的或气态硅烷和任选的至少一种汽化的或气态的掺杂物质以及惰性气体引入反应器并在那里混合组分，其中硅烷的比例相对于硅烷、掺杂物质和惰性气体的总量为0.1～90wt.％；通过能量输入造成混合物发生反应，其中等离子体通过微波范围内的电磁辐射在10～1100mbar的压力下由能量输入而产生；使反应混合物冷却并且将反应产物以粉末的形式从气体物质中分离而制备。粉末可以用于电子元件的制造。 | ||
| 申请公布号 | CN1882502A | 申请公布日期 | 2006.12.20 |
| 申请号 | CN200480034099.1 | 申请日期 | 2004.11.13 |
| 申请人 | 德古萨股份公司 | 发明人 | 马库斯·普雷德尔;保罗·罗特;哈特穆特·维格斯;彼得·克雷斯;吉多·齐默尔曼;斯特凡·黑贝雷尔;弗兰克－马丁·彼得拉特 |
| 分类号 | C01B33/02(2006.01);C01B33/027(2006.01) | 主分类号 | C01B33/02(2006.01) |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 于辉 |
| 主权项 | 1.聚集的结晶硅粉末，其特征在于其具有超过50m2/g的BET表面积。 | ||
| 地址 | 德国杜塞尔多夫市 | ||