| 发明名称 | 清洗掩模 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种清洗掩模的设备和方法。该方法包括将掩模置于一清洗溶液内。该方法也包括以一预定搅动水准将清洗溶液搅动一预定时间段。 | ||
| 申请公布号 | CN1882397A | 申请公布日期 | 2006.12.20 |
| 申请号 | CN200480027634.0 | 申请日期 | 2004.07.22 |
| 申请人 | 晶粒精密清理仪器有限公司 | 发明人 | 萨曼莎·坦;王建齐 |
| 分类号 | B08B3/12(2006.01);B08B3/00(2006.01);B08B6/00(2006.01);C03C23/00(2006.01);C23G1/02(2006.01) | 主分类号 | B08B3/12(2006.01) |
| 代理机构 | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人 | 徐金国;梁挥 |
| 主权项 | 1.一种清洗有多种金属沉积于其上的钼掩模的方法，包括：将所述钼掩模置于包括氢氯酸的清洗溶液内；以及在一预定时间段后将所述钼掩模从清洗溶液移出。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||