发明名称 |
显示装置及其制造方法 |
摘要 |
一种显示装置及其制造方法,该显示装置包括:绝缘基体;形成在上述基体上的半导体层,包括沟道区、源区和漏区;形成在上述沟道区、源区和漏区上的绝缘膜;和形成在上述绝缘膜上的栅电极,其中,在上述沟道区和上述源区之间、或者在上述沟道区和上述漏区之间至少形成有一个LDD区;并且上述绝缘膜在上述沟道区上具有第一厚度,在上述LDD区上具有第二厚度,在上述源区或漏区上具有第三厚度,且上述第一厚度大于上述第二厚度,上述第二厚度大于上述第三厚度。 |
申请公布号 |
CN1881617A |
申请公布日期 |
2006.12.20 |
申请号 |
CN200610094384.3 |
申请日期 |
2002.02.06 |
申请人 |
株式会社日立制作所 |
发明人 |
田边英夫;下村繁雄;大仓理;栗田雅章;木村泰一;中村孝雄 |
分类号 |
H01L29/786(2006.01);H01L29/423(2006.01);H01L27/12(2006.01);H01L21/336(2006.01);H01L21/84(2006.01);G02F1/1362(2006.01) |
主分类号 |
H01L29/786(2006.01) |
代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
代理人 |
王以平 |
主权项 |
1.一种显示装置,包括:绝缘基体;形成在上述基体上的半导体层,包括沟道区、源区和漏区;形成在上述沟道区、源区和漏区上的绝缘膜;和形成在上述绝缘膜上的栅电极,其中,在上述沟道区和上述源区之间、或者在上述沟道区和上述漏区之间至少形成有一个LDD区;并且上述绝缘膜在上述沟道区上具有第一厚度,在上述LDD区上具有第二厚度,在上述源区或漏区上具有第三厚度,且上述第一厚度大于上述第二厚度,上述第二厚度大于上述第三厚度。 |
地址 |
日本东京 |