APPARATUS FOR AN OPTIMIZED PLASMA CHAMBER TOP PIECE,申请号KR20077002370-传众专利搜索

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发明名称	APPARATUS FOR AN OPTIMIZED PLASMA CHAMBER TOP PIECE
摘要
申请公布号	KR20070042158(A)	申请公布日期	2007.04.20
申请号	KR20077002370	申请日期	2005.06.14
申请人	LAM RESEARCH CORPORATION	发明人	SHARPLESS LEONARD J.;COMENDANT KEITH
分类号	H01L21/306;H01L21/3065	主分类号	H01L21/306
代理机构		代理人
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