发明名称 |
具有带有阻挡层的半导体衬底的集成电路 |
摘要 |
本发明公开了一种具有带有阻挡层的半导体衬底的集成电路。该布置包括半导体衬底和金属元件。碳基阻挡层设置在半导体衬底和金属元件之间。 |
申请公布号 |
CN101355076A |
申请公布日期 |
2009.01.28 |
申请号 |
CN200810144750.0 |
申请日期 |
2008.07.28 |
申请人 |
英飞凌科技股份有限公司 |
发明人 |
斯特凡·德廷格;艾尔弗雷德·马丁;芭芭拉·哈斯勒;格里特·佐默;弗洛里安·宾德尔 |
分类号 |
H01L23/522(2006.01);H01L23/532(2006.01);H01L23/482(2006.01);H01L21/768(2006.01);H01L21/60(2006.01);B81B7/00(2006.01);B81C1/00(2006.01) |
主分类号 |
H01L23/522(2006.01) |
代理机构 |
北京康信知识产权代理有限责任公司 |
代理人 |
章社杲;李慧 |
主权项 |
1.一种具有半导体布置的集成电路,包括:半导体衬底;金属元件;以及碳基阻挡层,所述碳基阻挡层被设置在所述半导体衬底和所述金属元件之间。 |
地址 |
德国瑙伊比贝尔格市 |