发明名称 具有带有阻挡层的半导体衬底的集成电路
摘要 本发明公开了一种具有带有阻挡层的半导体衬底的集成电路。该布置包括半导体衬底和金属元件。碳基阻挡层设置在半导体衬底和金属元件之间。
申请公布号 CN101355076A 申请公布日期 2009.01.28
申请号 CN200810144750.0 申请日期 2008.07.28
申请人 英飞凌科技股份有限公司 发明人 斯特凡·德廷格;艾尔弗雷德·马丁;芭芭拉·哈斯勒;格里特·佐默;弗洛里安·宾德尔
分类号 H01L23/522(2006.01);H01L23/532(2006.01);H01L23/482(2006.01);H01L21/768(2006.01);H01L21/60(2006.01);B81B7/00(2006.01);B81C1/00(2006.01) 主分类号 H01L23/522(2006.01)
代理机构 北京康信知识产权代理有限责任公司 代理人 章社杲;李慧
主权项 1.一种具有半导体布置的集成电路,包括:半导体衬底;金属元件;以及碳基阻挡层,所述碳基阻挡层被设置在所述半导体衬底和所述金属元件之间。
地址 德国瑙伊比贝尔格市
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