透明导电膜用蚀刻液组成物

摘要

明之课题系提供一种不会对电极材料等所使用之铜及/或铜合金造成损伤又能够蚀刻结晶质ITO膜之透明导电膜用蚀刻液组成物。
本发明之解决手段系一种由包括1~10重量%的氟化合物之水溶液所构成之结晶质透明导电膜用蚀刻液组成物。

主权项

一种结晶质透明导电膜用蚀刻液组成物，其系由含有1~10重量%的氟化合物之水溶液所构成，前述氟化合物系含有选自氟化氢、氟化铵、氟化钠、氟化钾、氟化氢铵、氟化氢钠、四氟化矽、六氟矽酸、六氟矽酸盐、氟硼酸、氟硼酸盐之1种或2种以上的化合物。