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发明名称 樹脂塗布装置
摘要
申请公布号 JP5923014(B2) 申请公布日期 2016.05.24
申请号 JP20120184765 申请日期 2012.08.24
申请人 株式会社ディスコ 发明人 吉田 悠太
分类号 H01L21/56;B05C5/00;B05C9/12;B05C11/02;B05C11/10;B05C13/02 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
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