| 摘要 |
본 발명은 페라이트 막대를 제조하는 방법에 관한 것이다. 상기 방법은 두 개의 반도체 기판들에 공동들을 에칭하는 단계 및 상기 공동들로 페라이트 층들을 증착시키는 단계를 포함한다. 상기 반도체 기판들은 상기 페라이트 층들이 페라이트 막대를 형성하도록 서로 부착된다. 본 발명은, 자기 재료가 패러데이 회전 또는 위상-천이 요소를 형성하기 위해 증착될 수 있는, 템플릿 또는 몰드를 정확하게 및 반복 가능하게 형성하기 위해 반도체 웨이퍼들의 종래의 포토리소그래피 및 벌크 등방성 미세 기계 가공을 이용한다. |
