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发明名称
直流電源装置、直流電源装置の制御方法
摘要
イグニッションモードにおいて、間欠短絡制御を行うことによって電流形降圧チョッパ部に短絡電流を流す。短絡電流のエネルギーは、電流形降圧チョッパ部が備えるインダクタに一次的に蓄積される。蓄積されたエネルギーは、次の短絡までの期間において間の電流、多相インバータ部および整流部を介して直流電源装置の出力電圧を昇圧する。短絡による電流エネルギーの蓄積と、導通による出力電圧の昇圧を繰り返す昇圧動作によってプラズマ発生装置に印加する出力電圧を高める制御を行う。
申请公布号
JPWO2014038060(A1)
申请公布日期
2016.08.08
申请号
JP20130555675
申请日期
2012.09.07
申请人
株式会社京三製作所
发明人
譲原 逸男;安達 俊幸;小玉 真一
分类号
H05H1/46;C23C14/34;C23C16/503;H01L21/205;H01L21/3065
主分类号
H05H1/46
代理机构
代理人
主权项
地址
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