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发明名称
Verfahren zur Verloetung von Halbleiterscheiben mit ihren Anschlusselektroden
摘要
申请公布号
DE1514111(A1)
申请公布日期
1970.08.20
申请号
DE19651514111
申请日期
1965.01.29
申请人
LICENTIA PATENT-VERWALTUNGS-GMBH
发明人
KARL-HEINZ GINSBACH,DIPL.-PHYS.
分类号
H01L21/60;H01L23/492
主分类号
H01L21/60
代理机构
代理人
主权项
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