发明名称 VERFAHREN ZUM EINDIFFUNDIEREN VON DOTIERUNGSSTOFFEN IN VER BINDUNGSHALBLEITERKOERPER
摘要
申请公布号 DE1544310(B2) 申请公布日期 1971.05.27
申请号 DE19641544310 申请日期 1964.03.04
申请人 发明人
分类号 C23C14/10;C23C16/40;C30B31/02;C30B31/16;H01L21/00;H01L21/316;(IPC1-7):B01J17/34 主分类号 C23C14/10
代理机构 代理人
主权项
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