| 发明名称 |
METHOD OF CHANGING THE PHYSICAL PROPERTIES OF A METALLIC FILM BY ION BEAM FORMATION AND DEVICES PRODUCED THEREBY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3682729(A) |
申请公布日期 |
1972.08.08 |
| 申请号 |
USD3682729 |
申请日期 |
1969.12.30 |
| 申请人 |
INTERN. BUSINESS MACHINES CORP. |
发明人 |
THOMAS F. GUKELBERGER JR.;WALTER J. KLEINFELDER |
| 分类号 |
C23F4/00;G01Q70/14;H01J37/317;H01L21/00;H01L21/26;H01L21/265;H01L21/28;H01L21/3213;H01L21/60;(IPC1-7):H05K3/06 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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