发明名称
摘要
申请公布号 JPS5234347(B2) 申请公布日期 1977.09.02
申请号 JP19730144168 申请日期 1973.12.26
申请人 发明人
分类号 H01L29/80;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/24;H01L21/338;H01L29/00;H01L29/812 主分类号 H01L29/80
代理机构 代理人
主权项
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