| 发明名称 |
METHOD OF FORMING MATCHING MARKS FOR EXPOSING ELECTRON BEAM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5436187(A) |
申请公布日期 |
1979.03.16 |
| 申请号 |
JP19770102392 |
申请日期 |
1977.08.26 |
| 申请人 |
CHO LSI GIJUTSU KENKYU KUMIAI |
发明人 |
JINNO KIYOKATSU |
| 分类号 |
H01L21/027;H01L21/302;H01L21/68 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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