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经营范围
发明名称
ION BEAM IMPLANTER SCAN CONTROL SYSTEM
摘要
申请公布号
AU586608(B2)
申请公布日期
1989.07.13
申请号
AU19870078641
申请日期
1987.09.18
申请人
EATON CORPORATION
发明人
DOUGLAS DEAN MYRON
分类号
H01L21/265;H01J37/302;H01J37/317;(IPC1-7):H01J37/302
主分类号
H01L21/265
代理机构
代理人
主权项
地址
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