| 发明名称 |
PRODUCTION OF SENSITIVE ELEMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02150754(A) |
申请公布日期 |
1990.06.11 |
| 申请号 |
JP19880303675 |
申请日期 |
1988.11.30 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
NISHIWAKI SATOSHI;MURAKAMI KOJI;MIYAZAKI HIROSHI;TAKAHASHI YUKINOBU |
| 分类号 |
G01N27/12;H01L21/302;H01L21/3065 |
主分类号 |
G01N27/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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