一种温湿双功能敏感薄膜元件及其制造方法

摘要

一种由聚酰亚胺薄膜电容式湿敏元件和铝、钛双金属薄膜电阻式温敏元件结合组成的温、湿双功能敏感薄膜元件。这是在衬底硅片表面上先生长一层二氧化硅，然后用薄膜工艺，在二氧化硅绝缘层上先后淀积钛、铝、聚酰亚胺、金等各种薄膜，并用掩模板使薄膜形成微细图案。该敏感元件能同时检测环境中同一点的温度和湿度，并具有测量范围宽，线性度好，不需加热清洗、响应快、体积小等特点。在工农业生产、贮存、管理以及日常生活中有广泛应用前景。

主权项

1、一种温、湿双功能敏感薄膜元件，其特征是，所用芯片的结构为，以至少一边生长有二氧化硅绝缘层2的硅基片1作为衬底11，在衬底11的二氧化硅绝缘层2上淀积一层钛膜3，在钛膜3上淀积一层铝膜4，淀积的钛、铝双层薄膜同时蚀刻成一个兼作下电极Ⅱ9的弯曲条状图案的电阻带和另一个作为下电极I8的叉指状图案的电极，在淀积有下电极I8和下电极Ⅱ9的二氧化硅绝缘层2上涂上一层聚酰亚胺膜5，蚀刻成遮盖住下电极I8、下电极Ⅱ9和空出三个键压脚的矩形状，再在聚酰亚胺膜5上淀积金膜6，蚀刻成边缘略小于聚亚胺膜5的矩形，作为上电极10；上电极10分别与下电极I8、下电极Ⅱ9各形成一个以聚酰亚胺膜5为介质的电容，两个电容通过上电极10串联起来，构成电容式湿敏元件，引出线分别从下电极I8和下电极Ⅱ9引出；弯曲条状图案的电阻带下电极Ⅱ9构成电阻式温敏元件，引出线分别从下电极Ⅱ9的两端引出；上电极10上无引出线。