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发明名称
PLASMABEARBEITUNGSEINRICHTUNG
摘要
申请公布号
DE4110632(A1)
申请公布日期
1991.10.10
申请号
DE19914110632
申请日期
1991.04.02
申请人
FUJI ELECTRIC CO., LTD., KAWASAKI, KANAGAWA, JP
发明人
OHIWA, KIYOSHI, TOKIO/TOKYO, JP
分类号
H05H1/46;C23C16/50;C23C16/511;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
H05H1/46
代理机构
代理人
主权项
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