发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04109617(A) 申请公布日期 1992.04.10
申请号 JP19900229349 申请日期 1990.08.29
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SUGAYA SHINJI;WATANABE YOSHIHARU
分类号 H01L21/8238;H01L21/28;H01L27/092 主分类号 H01L21/8238
代理机构 代理人
主权项
地址