| 发明名称 |
APPARATUE FOR ANNEALED SUBSTRATE FOR HARD DISK |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05287367(A) |
申请公布日期 |
1993.11.02 |
| 申请号 |
JP19920119660 |
申请日期 |
1992.04.13 |
| 申请人 |
SPEEDFAM CO LTD |
发明人 |
NAGAHASHI ISAO;KIRYU KOJI |
| 分类号 |
C21D1/26;C21D1/34;C22F1/00;C22F1/04;F27B9/06;F27B9/24;F27D11/02;G11B5/84;(IPC1-7):C21D1/26 |
主分类号 |
C21D1/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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