发明名称 METHOD OF MINIMIZING REACTION OF METALLIC CONDUCTOR WITH ANOTHER METAL
摘要
申请公布号 JPH08260131(A) 申请公布日期 1996.10.08
申请号 JP19960063303 申请日期 1996.03.19
申请人 TEXAS INSTR INC <TI> 发明人 KUI ZONGU HONGU;ROBAATO EICHI HEIBUMAN
分类号 C23C14/06;C23C14/34;C23C16/50;H01L21/203;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;(IPC1-7):C23C14/06;H01L21/320 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
主权项
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