发明名称 |
METHOD OF MINIMIZING REACTION OF METALLIC CONDUCTOR WITH ANOTHER METAL |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH08260131(A) |
申请公布日期 |
1996.10.08 |
申请号 |
JP19960063303 |
申请日期 |
1996.03.19 |
申请人 |
TEXAS INSTR INC <TI> |
发明人 |
KUI ZONGU HONGU;ROBAATO EICHI HEIBUMAN |
分类号 |
C23C14/06;C23C14/34;C23C16/50;H01L21/203;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;(IPC1-7):C23C14/06;H01L21/320 |
主分类号 |
C23C14/06 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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