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发明名称 Ionenimplantationsanlage mit Massenselektion und anschließender Abbremsung
摘要
申请公布号 DE19681168(T1) 申请公布日期 1997.12.04
申请号 DE19961081168T 申请日期 1996.11.08
申请人 APPLIED MATERIALS, INC., SANTA CLARA, CALIF., US 发明人 ENGLAND, JONATHAN GERALD, HORSHAM, WEST SUSSEX, GB;ADIBI, BABAK, SANTA CLARA, CALIF., US;TAYLOR, MITCHELL C., OSWEGO, OREG., US
分类号 H01J37/05;H01J37/30;H01J37/317;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 H01J37/05
代理机构 代理人
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