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发明名称
摘要
申请公布号 JP2751906(B2) 申请公布日期 1998.05.18
申请号 JP19960005498 申请日期 1996.01.17
申请人 NIPPON DENKI KK 发明人 OKAMURA KENJI;YOSHIIE MASANOBU
分类号 H01L21/28;H01L21/768;H01L21/822;H01L21/8242;H01L23/522;H01L27/04;H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/108;H01L21/824 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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