| 发明名称 |
THIN FILM CAPACITOR, ITS MANUFACTURE AND WORKING METHOD OF ELECTRODE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10163447(A) |
申请公布日期 |
1998.06.19 |
| 申请号 |
JP19960321636 |
申请日期 |
1996.12.02 |
| 申请人 |
NEC CORP |
发明人 |
KATOU YOSHITAKE;SONE SHUJI;ARITA KOJI |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/461;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/04;H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/108;H01L21/824;H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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