申请人 |
R-AMTECH INTERNATIONAL, INC., BELLEVUE, WASH., US |
发明人 |
KOSYREV, VALERIJ NIKOLAEVIC, MOSKAU/MOSKVA, RU;EMELJANOV, VALERIJ NILOVIC, MOSKOVSKAJA OBLAST', RU;SIDOROV, ALEKSEIJ IVANOVIC, MOSKOVSKAJA OBLAST', RU;ANDREEV, VLADIMIR ANDREEVIC, MOSKAU/MOSKVA, RU |