发明名称
摘要
申请公布号 JP3400218(B2) 申请公布日期 2003.04.28
申请号 JP19950311152 申请日期 1995.11.29
申请人 发明人
分类号 C30B29/06;H01L21/822;H01L21/8242;H01L21/8246;H01L21/8247;H01L27/04;H01L27/10;H01L27/105;H01L27/108;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/822;H01L21/824 主分类号 C30B29/06
代理机构 代理人
主权项
地址