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发明名称
摘要
申请公布号
JP3400218(B2)
申请公布日期
2003.04.28
申请号
JP19950311152
申请日期
1995.11.29
申请人
发明人
分类号
C30B29/06;H01L21/822;H01L21/8242;H01L21/8246;H01L21/8247;H01L27/04;H01L27/10;H01L27/105;H01L27/108;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/822;H01L21/824
主分类号
C30B29/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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