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发明名称
Piexoelectric micro electro-mechanical system switch, method of manufacturing the same and Piexoelectric micro electro-mechanical system switch array
摘要
申请公布号
KR100753836(B1)
申请公布日期
2007.08.31
申请号
KR20060046282
申请日期
2006.05.23
申请人
发明人
分类号
H01H59/00
主分类号
H01H59/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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