利用真空吸附之固定基板方法及装置

摘要

本发明系关于一种利用真空吸附之固定基板方法及装置，该装置包括一机台本体，该机台本体具有一基板承接面、复数个第一真空孔及复数个第二真空孔。该基板承接面系用以承接一基板。该等第一真空孔系开口于该基板承接面之中间区域。该等第二真空孔系开口于该基板承接面之外围区域，该等第一真空孔及该等第二真空孔系不连接导通，以分别产生真空吸附该基板。藉此，即使是大尺寸基板也可以平整稳定地吸附于该机台本体之基板承接面上。