| 摘要 |
Sb 함유량이 10 ∼ 60 at％, Te 함유량이 20 ∼ 60 at％, 잔부가 Ag, In, Ge 에서 선택한 1 종 이상의 원소 및 불가피적 불순물로 이루어지는 스퍼터링 타겟으로서, 산화물의 평균 입경이 0.5 ㎛ 이하인 것을 특징으로 하는 Sb-Te 기 합금 소결체 스퍼터링 타겟. Sb-Te 기 합금 소결체 스퍼터링 타겟 조직의 개선을 도모하고, 스퍼터링시에 아킹의 발생을 방지함과 함께, 스퍼터링막의 열안정성을 향상시키는 것을 목적으로 한다. |
