GAS FITTING LOCK DEVICE OF SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT

摘要

본 발명은 고정 피팅부와 연결부 및 체결 피팅부가 안착 고정되는 안착 하우징에 대하여 탈착 하우징이 슬라이딩 체결되며, 위하여 탈착 안내 유닛이 이러한 슬라이딩 체결을 안내하고, 이동 제한 유닛이 안착 하우징에 대한 탈착 하우징의 이탈을 규제함으로써, 비교적 간단한 구성으로 조립 체결이 용이하게 이루어지며 풀림 방지가 가능하고 내구성의 향상이 가능하도록 한 반도체 제조설비의 가스 피팅 락 디바이스에 관한 것이다.