SINGLE CRYSTAL GROWER WITH HEATER LIFTING FUNCTION AND METHOD FOR GROWING SINGLE CRYSTAL

摘要

본 발명은 단결정을 성장시키기 위해 원료를 용융시킨 뒤, 용융된 원료로부터 시드 결정을 중심으로 단결정을 성장시키는 단결정 성장장치 및 성장방법에 관한 것이다. 히터 승하강 기능을 갖는 단결정 성장장치는, 내부 공간을 갖는 챔버; 챔버 내부에 배치되는 단열재; 단열재 내부에 배치되며 원료가 장입되는 도가니; 도가니 둘레의 측부에 구비되어 원료를 용융시키는 히터; 및 히터를 승하강시키는 히터 구동부; 를 포함한다. 이에 의해, 도가니 상, 하부의 온도 구배를 크게 하면서도 안정적으로 제어할 수 있어 대구경 단결정을 성장시킬 수 있고, 히터가 구동되는 반대 방향으로 도가니를 승하강시킴으로써, 히터만 구동시키는 것이 비하여 이동 공간을 적게 차지하고, 도가니 승하강에 의한 진동을 최소화하여 단결정을 안정적으로 성장시킬 수 있다.