检查装置及检查方法

摘要

本发明以提供能够容易地抑制绝缘基板的膨胀、翘曲等的检查装置及检查方法为目的。本发明所涉及的检查装置，具备：探针（14），具有固定于绝缘基板（10）的主体部（16）、与该主体部（16）的一端连接且配置于该绝缘基板（10）的背面侧的前端部（20）、和与该主体部（16）的另一端连接且配置于该绝缘基板（10）的表面侧的连接部（22）；以及与该连接部（22）相接触的散热端子（24）。而且，使电流经由该散热端子（24）及该探针（14）流向被测定物，该散热端子（24）散发来自该探针（14）的热量。

主权项

一种检查装置，其特征在于，具备：绝缘基板；探针，具有固定于所述绝缘基板且配置于所述绝缘基板的背面侧的主体部、与所述主体部的一端连接且配置于所述绝缘基板的背面侧的前端部、和与所述主体部的另一端连接且配置于所述绝缘基板的表面侧的连接部，该前端部用于与被测定物相接触；以及散热端子，与所述连接部相接触，位于所述绝缘基板的表面侧，电流经由所述散热端子及所述探针流向所述被测定物，所述散热端子散发来自所述探针的热量，所述散热端子能够从所述连接部离开。