发明名称 Film forming method and apparatus
摘要
申请公布号 US3294882(A) 申请公布日期 1966.12.27
申请号 US19630318687 申请日期 1963.10.24
申请人 UNION CARBIDE CORPORATION 发明人 LUTZMANN HANS HARALD;RALEY GARLAND EUGENE
分类号 B29C47/00 主分类号 B29C47/00
代理机构 代理人
主权项
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