| 发明名称 |
Verfahren zum Herstellen von duennen,vorzugsweise einkristallinen Schichten aus Halbleitermaterial |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE1544299(A1) |
申请公布日期 |
1969.07.10 |
| 申请号 |
DE19661544299 |
申请日期 |
1966.09.22 |
| 申请人 |
SIEMENS AG |
发明人 |
FRANZ-JOSEF LANDKAMMER,DR.DIPL.-ING.;GUENTER WINSTEL,DR.DIPL.-PHYS. |
| 分类号 |
C30B19/00;C30B19/02;H01L21/18 |
主分类号 |
C30B19/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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