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发明名称 Verfahren zum Herstellen von Feldeffekttransistoren
摘要
申请公布号 DE1564151(A1) 申请公布日期 1969.07.24
申请号 DE1966J030835 申请日期 1966.05.14
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. 发明人 FU FANG,FRANK;NIEN YU,HWA;JOHN WALKER,EDWARD
分类号 H01L27/088;H01L21/00;H01L21/22;H01L21/316;H01L21/8234;H01L21/8236;H01L29/00;H01L29/78 主分类号 H01L27/088
代理机构 代理人
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