| 发明名称 |
Verfahren zum Herstellen von Halbleiterbauelementen |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE1589677(A1) |
申请公布日期 |
1970.04.09 |
| 申请号 |
DE19671589677 |
申请日期 |
1967.02.03 |
| 申请人 |
DEUTSCHE ITT INDUSTRIES GMBH |
发明人 |
GEORGE SKINNER,RAYMOND |
| 分类号 |
C23C16/40;H01L21/316;H01L23/29 |
主分类号 |
C23C16/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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