发明名称 VACUUM VAPOR DEPOSITION UTILIZING LOW VOLTAGE ELECTRON BEAM
摘要
申请公布号 US3562141(A) 申请公布日期 1971.02.09
申请号 USD3562141 申请日期 1968.02.23
申请人 JOHN R. MORLEY 发明人 JOHN R. MORLEY
分类号 C23C14/30;C23C14/32;(IPC1-7):C23C15/00 主分类号 C23C14/30
代理机构 代理人
主权项
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