| 发明名称 |
DEPOSITION OF THIN FILMS WITH CONTROLLED THICKNESS AND PLANAR AREA PROFILE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3627569(A) |
申请公布日期 |
1971.12.14 |
| 申请号 |
USD3627569 |
申请日期 |
1968.12.27 |
| 申请人 |
BELL TELEPHONE LABORATORIES INC. |
发明人 |
DAVID BEECHAM |
| 分类号 |
C23C14/04;(IPC1-7):C23C11/00 |
主分类号 |
C23C14/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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