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发明名称
摘要
申请公布号 JPH07505973(A) 申请公布日期 1995.06.29
申请号 JP19930516707 申请日期 1993.03.18
申请人 发明人
分类号 C23C14/54;C23F4/00;H01J37/32;H05H1/00;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/46 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
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