RESONATEUR PIEZO-ELECTRIQUE A HAUTE FREQUENCE ET SON PROCEDE DE FABRICATION

摘要

LA PRESENTE INVENTION A POUR OBJET UN RESONATEUR PIEZO-ELECTRIQUE A HAUTE FREQUENCE ET SON PROCEDE DE FABRICATION. LE RESONATEUR EST DU TYPE OU UNE PLAQUE OU UN DISQUE DE QUARTZ PRESENTE UNE REGION AMINCIE 2 FORMANT UNE MEMBRANE, CETTE REGION ETANT RACCORDEE AU RESTE DE LA PLAQUE REFERENCEE EN 1 PAR UNE ZONE 3 FORMANT GRADIN. UNE ELECTRODE CONDUCTRICE 6 S'ETEND DEPUIS L'EXTERIEUR DU DISQUE OU DE LA PLAQUE JUSQU'AU CENTRE DE LA REGION AMINCIE 2 ET ELLE COMPORTE UNE PATTE CONDUCTRICE 8 CONSTITUEE PAR UNE COUCHE METALLIQUE D'EPAISSEUR CONTROLEE DISPOSEE EN 9 DANS LA ZONE 3. LE PROCEDE MET EN OEUVRE LA REALISATION DU DISQUE DE LA PLAQUE PAR USINAGE IONIQUE, LES ELECTRODES ET LA PATTE CONDUCTRICE ETANT REALISEES PAR PULVERISATION.