发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH01319931(A) 申请公布日期 1989.12.26
申请号 JP19880153083 申请日期 1988.06.20
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 ONO NORIO
分类号 H01L21/31;H01L21/22 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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