发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02205334(A) 申请公布日期 1990.08.15
申请号 JP19890025241 申请日期 1989.02.03
申请人 ORIENT WATCH CO LTD 发明人 ENDO IKUO;YAMAGUCHI YUJI;HIRUMA YOSHIMASA
分类号 H01L21/603;H01L21/60 主分类号 H01L21/603
代理机构 代理人
主权项
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