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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH03248534(A) 申请公布日期 1991.11.06
申请号 JP19900044628 申请日期 1990.02.27
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 HARADA YUSUKE
分类号 H01L21/3205;H01L21/28;H01L21/768;H01L23/522 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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