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经营范围
发明名称
REDUCED PRESSURE EPITAXIAL GROWTH
摘要
申请公布号
JPH03248417(A)
申请公布日期
1991.11.06
申请号
JP19900046939
申请日期
1990.02.26
申请人
KOKUSAI ELECTRIC CO LTD
发明人
SHIBATA EIJI
分类号
H01L21/205
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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