一种温湿双功能敏感薄膜元件及其制造方法

摘要

一种由聚酰亚胺薄膜电容式湿敏元件和铝、钛双金属薄膜电阻式温敏元件结合组成的温、湿双功能敏感薄膜元件。这是在衬底硅片表面上先生长一层二氧化硅，然后用薄膜工艺，在二氧化硅绝缘层上先后淀积钛、铝、聚酰亚胺、金等各种薄膜，并用掩模板使薄膜形成微细图案。该敏感元件能同时检测环境中同一点的温度和湿度，并具有测量范围宽，线性度好，不需加热清洗、响应快、体积小等特点。在工农业生产、贮存、管理以及日常生活中有广泛应用前景。

主权项

1.一种温、湿双功能敏感薄膜元件，所用芯片的结构为，以至少一边生长有二氧化硅绝缘层2的硅基片1作为衬底11，淀积在二氧化硅绝缘层2上的薄膜为钛膜3，淀积在钛膜3上的薄膜为铝膜4，由光刻蚀去部分钛、铝双层薄膜形成的、具有弯曲条状图案的电阻带为电阻式温敏元件，电阻式温敏元件的引出线分别从电阻带的两端引出，其特征在于，上述电阻带兼为下电极II9，与下电极II9同时形成的、镶嵌在下电极II9线条之间的、具有叉指状图案的电极为下电极I8，涂敷在二氧化硅绝缘层2空白部分、下电极I8和下电极II9上的薄膜为聚酰亚胺膜5，聚酰亚胺膜5的形状为遮盖住下电极I8、下电极II9和空出三个键压脚的矩形，淀积在聚酰亚胺膜5上，形状为边缘略小于聚酰亚胺膜5的矩形薄膜是作为上电极10的金膜6，上电极10分别与下电极I8、下电极II9各形成一个以聚酰亚胺膜5为介质的电容，两个电容通过上电极10串联起来，构成电容式湿敏元件，引出线分别从下电极I8和下电极II9引出，上电极10上无引出线。