| 发明名称 |
ANALYSIS OF IMPURITY IN WAFER SURFACE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07130808(A) |
申请公布日期 |
1995.05.19 |
| 申请号 |
JP19930297333 |
申请日期 |
1993.11.02 |
| 申请人 |
MITSUBISHI MATERIALS CORP;MITSUBISHI MATERIALS SHILICON CORP |
发明人 |
EMU BII SHIYABANII;YOSHIMI TOSHIHIRO |
| 分类号 |
G01N21/88;G01N1/28;G01N21/956;H01L21/306;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01N21/88 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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