| 发明名称 |
RADIOFREQUENZPLASMAERZEUGUNGSVORRICHTUNG VOM KOAXIALKAVITÄTSTYP. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT123915(T) |
申请公布日期 |
1995.06.15 |
| 申请号 |
AT19900105450T |
申请日期 |
1990.03.22 |
| 申请人 |
THE BOARD OF TRUSTEES OF THE MICHIGAN STATE UNIVERSITY |
发明人 |
ASMUSSEN, JES |
| 分类号 |
H01J27/18;C30B23/02;H01J27/16;H01J37/08;H01J37/317;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/46 |
主分类号 |
H01J27/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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