| 发明名称 |
THIN FILM TEMPERATURE SENSOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08105804(A) |
申请公布日期 |
1996.04.23 |
| 申请号 |
JP19940242605 |
申请日期 |
1994.10.06 |
| 申请人 |
MITSUBISHI HEAVY IND LTD |
发明人 |
OGURI KAZUYUKI;KUZUHARA TADASHI;TANAHASHI MIHARU;TOGAMI KENJI;ISHIDA NAOKI |
| 分类号 |
G01K7/18;C04B41/88;C23C14/54;G01M9/06;H01C7/02;(IPC1-7):G01K7/18 |
主分类号 |
G01K7/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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