发明名称 |
METHOD FOR ETCHING MULTILAYER CONDUCTIVE FILM |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0959787(A) |
申请公布日期 |
1997.03.04 |
申请号 |
JP19950236167 |
申请日期 |
1995.08.21 |
申请人 |
TOPPAN PRINTING CO LTD |
发明人 |
FUKUYOSHI KENZO;KOGA OSAMU;IMAYOSHI KOJI |
分类号 |
C23F1/00;C23F1/16;C23F1/44;(IPC1-7):C23F1/00 |
主分类号 |
C23F1/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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