发明名称 METHOD FOR ETCHING MULTILAYER CONDUCTIVE FILM
摘要
申请公布号 JPH0959787(A) 申请公布日期 1997.03.04
申请号 JP19950236167 申请日期 1995.08.21
申请人 TOPPAN PRINTING CO LTD 发明人 FUKUYOSHI KENZO;KOGA OSAMU;IMAYOSHI KOJI
分类号 C23F1/00;C23F1/16;C23F1/44;(IPC1-7):C23F1/00 主分类号 C23F1/00
代理机构 代理人
主权项
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