发明名称 ELECTRON BEAM PROCESSOR
摘要
申请公布号 JPH1092359(A) 申请公布日期 1998.04.10
申请号 JP19960241589 申请日期 1996.09.12
申请人 HITACHI LTD 发明人 SEKI HIROBUMI;SHIRAKATA HIROFUMI;HORI YASURO;SHIONO SHIGEO;SATO TADASHI
分类号 H01J37/063;H01J37/077;H01T23/00;(IPC1-7):H01J37/063 主分类号 H01J37/063
代理机构 代理人
主权项
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